技术研发

技术驱动发展——软硬结合,构筑覆盖设备结构、控制软件与工艺流程的完整技术体系。

R&D PILLARS

软硬结合,实现设备智能化

01

自主研发软件

拥有多项设备控制软件著作权,实现对清洗、刻蚀等工艺流程的精准化、智能化监控与管理,工艺参数全程可追溯。

02

PLC 自动化控制

核心控制系统采用 PLC,搭配人机界面(HMI),操作简便直观,显著降低对操作人员的技术门槛,支持自动/手动双模式。

03

工业机器人应用

在关键工位集成工业机器人,实现晶舟的自动上下料与转运,提升设备自动化水平与生产效率,减少人为污染风险。

CORE TECHNOLOGY

五大核心技术方向

核心技术专利覆盖设备运行的每一个关键环节,持续推动设备向自动化、高效化、节能化方向升级。

湿法清洗工艺98%
真空烘干技术95%
自动化传输系统96%
精密抖动机构92%
精密抓取机构94%
自动化传输模组
100%
核心模组自主研发
INNOVATION

研发创新成果

俊木科技始终坚持技术驱动发展,近年来在半导体及泛半导体设备领域取得多项创新成果

2026
一种立式酸洗旋转机构(实用新型专利)

创新立式旋转酸洗结构,使药液均匀作用于工件全表面,显著提升清洗效率。

2026
一种硅片真空烘干槽(实用新型专利)

真空环境下快速均匀烘干,杜绝水痕残留,显著提升设备密封性能。

2026
一种半导体抓取机构(实用新型专利)

高精度柔性抓取设计,在高速传输中保障晶圆与花篮的安全稳定。

2025
一种半导体抖动机构(发明专利)

实现花篮在清洗过程中的多维微幅晃动,优化药液交换效率与清洗均匀性。

公司累计拥有多项知识产权,包括发明专利、实用新型专利、外观设计及软件著作权, 形成覆盖设备结构、控制软件与工艺流程的完整技术体系。

制程腔体细节

精密制程腔体

高纯材料腔体与精密流场设计,保证药液均匀分布与高洁净度环境。

上位机软件界面

智能控制中枢

IPC + PLC 双控架构,图形化 HMI 界面,工艺参数实时调整与全程监控。

精密机构设计

精密机构设计

自研抖动、抓取与旋转机构,让每一个动作都精准可控、稳定可靠。

与俊木工程师团队深入交流

欢迎预约技术交流与设备演示,我们随时准备好回答您的工艺问题。

预约技术交流 →