技术驱动发展——软硬结合,构筑覆盖设备结构、控制软件与工艺流程的完整技术体系。
拥有多项设备控制软件著作权,实现对清洗、刻蚀等工艺流程的精准化、智能化监控与管理,工艺参数全程可追溯。
核心控制系统采用 PLC,搭配人机界面(HMI),操作简便直观,显著降低对操作人员的技术门槛,支持自动/手动双模式。
在关键工位集成工业机器人,实现晶舟的自动上下料与转运,提升设备自动化水平与生产效率,减少人为污染风险。
核心技术专利覆盖设备运行的每一个关键环节,持续推动设备向自动化、高效化、节能化方向升级。

俊木科技始终坚持技术驱动发展,近年来在半导体及泛半导体设备领域取得多项创新成果
创新立式旋转酸洗结构,使药液均匀作用于工件全表面,显著提升清洗效率。
真空环境下快速均匀烘干,杜绝水痕残留,显著提升设备密封性能。
高精度柔性抓取设计,在高速传输中保障晶圆与花篮的安全稳定。
实现花篮在清洗过程中的多维微幅晃动,优化药液交换效率与清洗均匀性。
公司累计拥有多项知识产权,包括发明专利、实用新型专利、外观设计及软件著作权, 形成覆盖设备结构、控制软件与工艺流程的完整技术体系。

高纯材料腔体与精密流场设计,保证药液均匀分布与高洁净度环境。

IPC + PLC 双控架构,图形化 HMI 界面,工艺参数实时调整与全程监控。

自研抖动、抓取与旋转机构,让每一个动作都精准可控、稳定可靠。