江苏俊木半导体科技股份有限公司——国家高新技术企业，深耕半导体及泛半导体产业十八年，提供从研发、生产到技术服务的全产业链湿法工艺解决方案。
江苏俊木半导体科技股份有限公司成立于 2008 年 3 月，坐落于江苏省无锡市，是一家专注于高端智能制造领域的国家高新技术企业，深耕半导体及泛半导体产业，具备从研发、生产到技术服务的全产业链能力。
覆盖半导体前道清洗与关键辅材清洗等领域，服务半导体及泛半导体行业，全系支持非标定制
标准 RCA 湿法清洗流程，SC1 / SC2 / QDR / HOT N₂ 干进干出，PC+PLC 双控，可对接客户 MES 系统。
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独特双腔结构设计，机械刷洗 + 超声波 + 氮气流干燥一体化，兼顾生产效率、清洁效果与设备耐用性。
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氧自由基化学反应 + 高能离子物理溅射双机制，真空腔体高频电场激发，环保无损剥离光刻胶。
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彩色触控屏幕，IPC + PLC 可程控器配合人机接口，去蜡 / ACE / IPA / QDR 多站点全自动连贯执行。
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自研超声波清洗、自动进液与顶升旋转系统，深度净化杜绝金属杂质污染，显著延长石英坩埚使用寿命。
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针对 12 英寸双层异形石英炉管，集成超声、喷淋、鼓泡多重清洗方式，PLC 智能控制全自动流程。
查看详情 →60+ 项专利与软件著作权，覆盖设备结构、控制软件与工艺流程的完整技术体系。
PC+PLC 双控架构搭配图形化人机界面，集成工业机器人，可对接客户 MES 系统。
根据炉管尺寸、材质与特定清洗工艺个性化设计，快速响应不同制程的差异化需求。
从方案设计、设备制造到安装调试与售后维保，提供全生命周期的专业技术服务。
设备广泛服务于晶圆制造、先进封装、化合物半导体与单晶硅材料等关键产业环节
8 / 12 英寸晶圆前道清洗、CIS 影像传感器基板清洗、光掩模版清洗，保障高洁净度与良率。
晶圆级封装与化合物半导体制程的金属、有机残留湿法清洗，保障互连可靠性与制程良率。
石英坩埚、石墨舟、石英舟、炉管与返工片清洗，延长辅材寿命，提升拉晶良率与设备利用率。
